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过氧化氢低温等离子体灭菌通过过氧化氢液体弥散变成气体状态后对物品进行灭菌，通过产生的等离子体进行第二阶段灭菌等离子过程还可加快、彻底分解过氧化氢气体在器械和包装材料上的残留。等离子体灭菌法的特点为作用迅速、杀菌可靠、作用温度低、清洁而无毒性残留。适用于不耐热、不耐湿的诊疗器械的灭菌，如电子仪器、光学仪器等诊疗器械的灭菌，不适用于布类、纸类、水、油类、粉剂等材质的灭菌。
等离子灭菌应在专用的过氧化氢低温等离子体灭菌器内进行，一次灭菌过程包含若干个循环周期，每个循环周期包括抽真空、过氧化氢注入、扩散、等离子化、通风五个步骤。过氧化氢为强氧化剂，在使用时需注意做好防护，防止皮肤、黏膜被灭菌剂沾染。过氧化氢等离子灭菌方式对被灭菌物品的材质、结构、干燥程度等有着极高的要求，应严格按照灭菌器使用要求进行灭菌，以免造成灭菌失败。
