1.1 系统描述洁净区内关键区域的环境监测系统包括温湿度传感器、压差传感器、悬浮粒子在线监测点位以及浮游菌采样点，而监控室则配置一套操作员站和两套服务器站，系统各个自动化站通过以太网通讯，在上位机进行数据显示、数据采集和数据管理，关键的参数比如温湿度、压差等可被记录并用于设置报警功能。系统中互为备份的两台真空泵通过真空管路与粒子计数器、浮游菌采样器连接，真空泵为粒子计数器、浮游菌采样器提供取样动力。

系统可实时监测洁净室关键区域悬浮粒子数量，浮游菌监测点位取样可从操作员站或现场控制面板进行启动、暂停和停止操作，每次取样体积达到 1 m3 后系统自动停止取样。操作员站对粒子数据进行采集，显示和归档管理。如果粒子实时数据超出预设报警上限则系统发出声光报警提示，当数据再次回落至报警线以内后则会取消声光报警提示；当粒子计数器流量超出 28.3 L/min±5%时，系统触发流量报警；如果计数器与自动化站通信失败，则系统触发通信报警。

1.2 系统结构监控室配置 1 套操作员站 2 套服务器站，系统采用冗余PCS7 410SMART 及上位机实现对系统的控制，系统各个自动化站通过以太网通讯，在上位机进行数据显示、数据采集和数据管理，关键的参数比如温湿度，压差，等可被记录并用于设置报警功能。